(Mastering JMP) Process Optimization Using DoE and Design Space Profiler in JMP

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John
Chinese(Traditional)
College Students
Concise
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Summary
本影片介紹了如何使用JMP進行化學氣相沉積過程的優化,特別是針對矽氮化物的沉積。工程師們通過實驗來控制沉積過程中的關鍵因素,如泵浦循環、溫度和氨氣流量,以確保矽晶圓上的薄膜厚度和折射率的一致性。使用JMP的設計空間分析工具,能夠有效地設計實驗並理解各因素對結果的影響,從而達到穩定的產品質量和性能。
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