(Mastering JMP) Process Optimization Using DoE and Design Space Profiler in JMP
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John
Chinese(Traditional)
College Students
Concise
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Summary
在這段視頻中,講述了如何使用JMP進行化學氣相沉積過程的優化。重點在於控制矽氮化物薄膜的厚度和折射率,以確保半導體晶片的一致品質。工程師們通過實驗來探索影響這些參數的因素,並使用定義性篩選設計來減少實驗的組合數量。最終,他們能夠確定關鍵因素及其最佳控制範圍,以實現穩定的產品質量,確保每個晶圓的薄膜厚度和折射率達到規範要求。
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