本次講座探討了乾蝕刻晶圓過程中的混合實驗設計與分析。重點在於處理混合因素與非混合因素的情況，並強調預測的重要性而非因素篩選。實驗中考慮了八個因素，其中三個為混合氣體，五個為非混合因素（如功率、壓力、溫度等）。使用自定義設計工具簡化設計過程，並設置了氣體比例和流量的約束。最終，透過優化預測模型，達成了目標的蝕刻速率與標準差的最佳化。